Дослідження впливу параметрів іонної очистки поверхні ніобієм на структуру та властивості

Автор(и)

  • Hanna Postelnyk Національний технічний університет «Харківский політехнічний інститут» вул. Багалія, 21, м. Харків, Україна, 61002, Україна https://orcid.org/0000-0002-5290-7566
  • Sergey Knyazev Національний технічний університет «Харківский політехнічний інститут» вул. Багалія, 21, м. Харків, Україна, 61002, Україна
  • Andrei Meylekhov Національний технічний університет «Харківский політехнічний інститут» вул. Багалія, 21, м. Харків, Україна, 61002, Україна https://orcid.org/0000-0002-8142-6024
  • Vyacheslav Stolbovoy Національний науковий центр «Харківський фізико-технічного інститут» вул. Академічна, 1, м. Харків, Україна, 61108, Україна
  • Dmitriy Kovteba Національний науковий центр «Харківський фізико-технічного інститут» вул. Академічна, 1, м. Харків, Україна, 61108, Україна

DOI:

https://doi.org/10.15587/1729-4061.2017.91788

Ключові слова:

вакуумно-дугове випаровування, потенціал зсуву, мікротвердість, імплантація, перемішування, розпилення, підкладка

Анотація

Проведено дослідження впливу потенціалу, поданого на підкладку, і зміни відстані «підкладка – катод» на процеси осадження, розпилення, а також механічні характеристики. Встановлено, що присутність аргону в процесі іонного бомбардування призводить до збільшення швидкості розпилення, а наявність активного газу азоту призводить до зменшення швидкості осадження. Це пов’язано з формуванням нітридів на поверхні

Біографії авторів

Hanna Postelnyk, Національний технічний університет «Харківский політехнічний інститут» вул. Багалія, 21, м. Харків, Україна, 61002

Аспірант

Кафедра матеріалознавства

Sergey Knyazev, Національний технічний університет «Харківский політехнічний інститут» вул. Багалія, 21, м. Харків, Україна, 61002

Майстер виробничого навчання

Кафедра матеріалознавства 

Andrei Meylekhov, Національний технічний університет «Харківский політехнічний інститут» вул. Багалія, 21, м. Харків, Україна, 61002

Аспірант

Кафедра матеріалознавства

Vyacheslav Stolbovoy, Національний науковий центр «Харківський фізико-технічного інститут» вул. Академічна, 1, м. Харків, Україна, 61108

Кандидат технічних наук, начальник лабораторії

Лабораторія розробки та дослідження інтенсивних іонно-плазмових технологій

Dmitriy Kovteba, Національний науковий центр «Харківський фізико-технічного інститут» вул. Академічна, 1, м. Харків, Україна, 61108

Молодший науковий співробітник

Посилання

  1. Sobol', O., Andreev, A., Grigoriev, S., Gorban', V., Volosova, S., Aleshin, S., Stolbovoy, V. (2011). Physical characteristics, structure and stress state of vacuum-arc TiN coating, deposition on the substrate when applying high-voltage pulse during the deposition. Problems of Atomic Science and Technology, 4, 174–177.
  2. Beresnev, V. M., Sobol’, O. V., Pogrebnjak, A. D., Turbin, P. V., Litovchenko, S. V. (2010). Thermal stability of the phase composition, structure, and stressed state of ion-plasma condensates in the Zr-Ti-Si-N system. Technical Physics, 55 (6), 871–873. doi: 10.1134/s1063784210060216
  3. Ulrich, S., Ziebert, C., Stuber, M., Nold, E., Holleck, H., Goken, M. et. al. (2004). Correlation between constitution, properties and machining performance of TiN/ZrN multilayers. Surface and Coatings Technology, 188-189, 331–337. doi: 10.1016/j.surfcoat.2004.08.056
  4. Xu, X. M., Wang, J., An, J., Zhao, Y., Zhang, Q. Y. (2007). Effect of modulation structure on the growth behavior and mechanical properties of TiN/ZrN multilayers. Surface and Coatings Technology, 201 (9-11), 5582–5586. doi: 10.1016/j.surfcoat.2006.07.132
  5. Koshy, R. A., Graham, M. E., Marks, L. D. (2007). Synthesis and characterization of CrN/Mo2N multilayers and phases of Molybdenum nitride. Surface and Coatings Technology, 202 (4-7), 1123–1128. doi: 10.1016/j.surfcoat.2007.07.090
  6. Kazmanli, M. K., Urgen, M., Cakir, A. F. (2003). Effect of nitrogen pressure, bias voltage and substrate temperature on the phase structure of Mo-N coatings produced by cathodic arc PVD. Surface and Coatings Technology, 167 (1), 77–82. doi: 10.1016/s0257-8972(02)00866-6
  7. Pogrebnyak, A. D., Sobol’, O. V., Beresnev, V. M., Turbin, P. V., Dub, S. N., Kirik, G. V., Dmitrenko, A. E. (2009). Features of the structural state and mechanical properties of ZrN and Zr(Ti)-Si-N coatings obtained by ion-plasma deposition technique. Technical Physics Letters, 35 (10), 925–928. doi: 10.1134/s1063785009100150
  8. Azarenkov, N., Sobol', O., Beresnev, V., Pogrebnjak, A., Kolesnikov, D., Turbin, P., Torjanik, I. (2013). Vakuumno-plazmennye pokrytija na osnove mnogojelementnyh nitridov. Metallofizika i novejshie tehnologii, 35 (8), 1061–1084.
  9. Pogrebnjak, A. D., Yakushchenko, I. V., Abadias, G., Chartier, P., Bondar, O. V., Beresnev, V. M. et. al. (2013). The effect of the deposition parameters of nitrides of high-entropy alloys (TiZrHfVNb)N on their structure, composition, mechanical and tribological properties. Journal of Superhard Materials, 35 (6), 356–368. doi: 10.3103/s106345761306004x
  10. Holmberg, K., Ronkainen, H., Laukkanen, A., Wallin, K. (2007). Friction and wear of coated surfaces – scales, modelling and simulation of tribomechanisms. Surface and Coatings Technology, 202 (4-7), 1034–1049. doi: 10.1016/j.surfcoat.2007.07.105
  11. Sobol', O. (2006). Structural Engineering Vacuum-plasma Coatings Interstitial Phases. Journal of Nano- and Electronic Physics, 8 (2), 02024-1–02024-7. doi: 10.21272/jnep.8(2).02024
  12. Azarenkov, N., Sobol', O., Pogrebnjak, A., Beresnev, V. (2011). Inzhenerija vakuumno-plazmennyh pokrytij. Kharkiv: HNU imeni V. N. Karazina, 344.
  13. Aksenov, I. (2005). Vakuumnaja duga v jerozionnyh istochnikah plazmy. Kharkiv: NNC HFTI, 212.
  14. Pogrebnjak, A. D., Beresnev, V. M., Bondar, O. V., Abadias, G., Chartier, P., Postol’nyi, B. A. et. al. (2014). The effect of nanolayer thickness on the structure and properties of multilayer TiN/MoN coatings. Technical Physics Letters, 40 (3), 215–218. doi: 10.1134/s1063785014030092
  15. Sobol’, O. V., Andreev, A. A., Grigoriev, S. N., Gorban’, V. F., Volosova, M. A., Aleshin, S. V., Stolbovoi, V. A. (2012). Effect of high-voltage pulses on the structure and properties of titanium nitride vacuum-arc coatings. Metal Science and Heat Treatment, 54 (3-4), 195–203. doi: 10.1007/s11041-012-9481-8
  16. Sobol’, O. V. (2007). Nanostructural ordering in W-Ti-B condensates. Physics of the Solid State, 49 (6), 1161–1167. doi: 10.1134/s1063783407060236
  17. Sobol’, O. V. (2016). The influence of nonstoichiometry on elastic characteristics of metastable β-WC1–x phase in ion plasma condensates. Technical Physics Letters, 42 (9), 909–911. doi: 10.1134/s1063785016090108
  18. Sobol, O. V., Grigoryev, O. N., Kunitsky, Y. A., Dub, S. N., Podtelezhnikov, A. A., Stetsenko, A. N. (2006). Peculiarities of structure state and mechanical characteristics in ion-plasma condensates of quasibinary system borides W2B5-TiB2. Science of Sintering, 38 (1), 63–72. doi: 10.2298/sos0601063s
  19. Aksenov, I., Aksenov, D., Belous, V. (2014). Tehnika osazhdenija vakuumno-dugovyh pokrytij. Kharkiv: NNC HFTI, 280.
  20. Belous, V., Vasyliev, V., Luchaninov, A., Marinin, V., Reshetnyak, E., Strel’nitskij, V. et. al. (2013). Cavitation and abrasion resistance of Ti-Al-Y-N coatings prepared by the PIII&D technique from filtered vacuum-arc plasma. Surface and Coatings Technology, 223, 68–74. doi: 10.1016/j.surfcoat.2013.02.031
  21. Andreev, A. A., Sablev, L. P., Grigorev, S. N. (2010). Vacuum-arc coating. Kharkiv: NNC KIPT, 317.

##submission.downloads##

Опубліковано

2017-02-20

Як цитувати

Postelnyk, H., Knyazev, S., Meylekhov, A., Stolbovoy, V., & Kovteba, D. (2017). Дослідження впливу параметрів іонної очистки поверхні ніобієм на структуру та властивості. Eastern-European Journal of Enterprise Technologies, 1(5 (85), 34–39. https://doi.org/10.15587/1729-4061.2017.91788