Дослідження впливу параметрів іонної очистки поверхні ніобієм на структуру та властивості
DOI:
https://doi.org/10.15587/1729-4061.2017.91788Ключові слова:
вакуумно-дугове випаровування, потенціал зсуву, мікротвердість, імплантація, перемішування, розпилення, підкладкаАнотація
Проведено дослідження впливу потенціалу, поданого на підкладку, і зміни відстані «підкладка – катод» на процеси осадження, розпилення, а також механічні характеристики. Встановлено, що присутність аргону в процесі іонного бомбардування призводить до збільшення швидкості розпилення, а наявність активного газу азоту призводить до зменшення швидкості осадження. Це пов’язано з формуванням нітридів на поверхні
Посилання
- Sobol', O., Andreev, A., Grigoriev, S., Gorban', V., Volosova, S., Aleshin, S., Stolbovoy, V. (2011). Physical characteristics, structure and stress state of vacuum-arc TiN coating, deposition on the substrate when applying high-voltage pulse during the deposition. Problems of Atomic Science and Technology, 4, 174–177.
- Beresnev, V. M., Sobol’, O. V., Pogrebnjak, A. D., Turbin, P. V., Litovchenko, S. V. (2010). Thermal stability of the phase composition, structure, and stressed state of ion-plasma condensates in the Zr-Ti-Si-N system. Technical Physics, 55 (6), 871–873. doi: 10.1134/s1063784210060216
- Ulrich, S., Ziebert, C., Stuber, M., Nold, E., Holleck, H., Goken, M. et. al. (2004). Correlation between constitution, properties and machining performance of TiN/ZrN multilayers. Surface and Coatings Technology, 188-189, 331–337. doi: 10.1016/j.surfcoat.2004.08.056
- Xu, X. M., Wang, J., An, J., Zhao, Y., Zhang, Q. Y. (2007). Effect of modulation structure on the growth behavior and mechanical properties of TiN/ZrN multilayers. Surface and Coatings Technology, 201 (9-11), 5582–5586. doi: 10.1016/j.surfcoat.2006.07.132
- Koshy, R. A., Graham, M. E., Marks, L. D. (2007). Synthesis and characterization of CrN/Mo2N multilayers and phases of Molybdenum nitride. Surface and Coatings Technology, 202 (4-7), 1123–1128. doi: 10.1016/j.surfcoat.2007.07.090
- Kazmanli, M. K., Urgen, M., Cakir, A. F. (2003). Effect of nitrogen pressure, bias voltage and substrate temperature on the phase structure of Mo-N coatings produced by cathodic arc PVD. Surface and Coatings Technology, 167 (1), 77–82. doi: 10.1016/s0257-8972(02)00866-6
- Pogrebnyak, A. D., Sobol’, O. V., Beresnev, V. M., Turbin, P. V., Dub, S. N., Kirik, G. V., Dmitrenko, A. E. (2009). Features of the structural state and mechanical properties of ZrN and Zr(Ti)-Si-N coatings obtained by ion-plasma deposition technique. Technical Physics Letters, 35 (10), 925–928. doi: 10.1134/s1063785009100150
- Azarenkov, N., Sobol', O., Beresnev, V., Pogrebnjak, A., Kolesnikov, D., Turbin, P., Torjanik, I. (2013). Vakuumno-plazmennye pokrytija na osnove mnogojelementnyh nitridov. Metallofizika i novejshie tehnologii, 35 (8), 1061–1084.
- Pogrebnjak, A. D., Yakushchenko, I. V., Abadias, G., Chartier, P., Bondar, O. V., Beresnev, V. M. et. al. (2013). The effect of the deposition parameters of nitrides of high-entropy alloys (TiZrHfVNb)N on their structure, composition, mechanical and tribological properties. Journal of Superhard Materials, 35 (6), 356–368. doi: 10.3103/s106345761306004x
- Holmberg, K., Ronkainen, H., Laukkanen, A., Wallin, K. (2007). Friction and wear of coated surfaces – scales, modelling and simulation of tribomechanisms. Surface and Coatings Technology, 202 (4-7), 1034–1049. doi: 10.1016/j.surfcoat.2007.07.105
- Sobol', O. (2006). Structural Engineering Vacuum-plasma Coatings Interstitial Phases. Journal of Nano- and Electronic Physics, 8 (2), 02024-1–02024-7. doi: 10.21272/jnep.8(2).02024
- Azarenkov, N., Sobol', O., Pogrebnjak, A., Beresnev, V. (2011). Inzhenerija vakuumno-plazmennyh pokrytij. Kharkiv: HNU imeni V. N. Karazina, 344.
- Aksenov, I. (2005). Vakuumnaja duga v jerozionnyh istochnikah plazmy. Kharkiv: NNC HFTI, 212.
- Pogrebnjak, A. D., Beresnev, V. M., Bondar, O. V., Abadias, G., Chartier, P., Postol’nyi, B. A. et. al. (2014). The effect of nanolayer thickness on the structure and properties of multilayer TiN/MoN coatings. Technical Physics Letters, 40 (3), 215–218. doi: 10.1134/s1063785014030092
- Sobol’, O. V., Andreev, A. A., Grigoriev, S. N., Gorban’, V. F., Volosova, M. A., Aleshin, S. V., Stolbovoi, V. A. (2012). Effect of high-voltage pulses on the structure and properties of titanium nitride vacuum-arc coatings. Metal Science and Heat Treatment, 54 (3-4), 195–203. doi: 10.1007/s11041-012-9481-8
- Sobol’, O. V. (2007). Nanostructural ordering in W-Ti-B condensates. Physics of the Solid State, 49 (6), 1161–1167. doi: 10.1134/s1063783407060236
- Sobol’, O. V. (2016). The influence of nonstoichiometry on elastic characteristics of metastable β-WC1–x phase in ion plasma condensates. Technical Physics Letters, 42 (9), 909–911. doi: 10.1134/s1063785016090108
- Sobol, O. V., Grigoryev, O. N., Kunitsky, Y. A., Dub, S. N., Podtelezhnikov, A. A., Stetsenko, A. N. (2006). Peculiarities of structure state and mechanical characteristics in ion-plasma condensates of quasibinary system borides W2B5-TiB2. Science of Sintering, 38 (1), 63–72. doi: 10.2298/sos0601063s
- Aksenov, I., Aksenov, D., Belous, V. (2014). Tehnika osazhdenija vakuumno-dugovyh pokrytij. Kharkiv: NNC HFTI, 280.
- Belous, V., Vasyliev, V., Luchaninov, A., Marinin, V., Reshetnyak, E., Strel’nitskij, V. et. al. (2013). Cavitation and abrasion resistance of Ti-Al-Y-N coatings prepared by the PIII&D technique from filtered vacuum-arc plasma. Surface and Coatings Technology, 223, 68–74. doi: 10.1016/j.surfcoat.2013.02.031
- Andreev, A. A., Sablev, L. P., Grigorev, S. N. (2010). Vacuum-arc coating. Kharkiv: NNC KIPT, 317.
##submission.downloads##
Опубліковано
Як цитувати
Номер
Розділ
Ліцензія
Авторське право (c) 2017 Hanna Postelnyk, Sergey Knyazev, Andrei Meylekhov, Vyacheslav Stolbovoy, Dmitriy Kovteba
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Закріплення та умови передачі авторських прав (ідентифікація авторства) здійснюється у Ліцензійному договорі. Зокрема, автори залишають за собою право на авторство свого рукопису та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons CC BY. При цьому вони мають право укладати самостійно додаткові угоди, що стосуються неексклюзивного поширення роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом, але за умови збереження посилання на першу публікацію статті в цьому журналі.
Ліцензійний договір – це документ, в якому автор гарантує, що володіє усіма авторськими правами на твір (рукопис, статтю, тощо).
Автори, підписуючи Ліцензійний договір з ПП «ТЕХНОЛОГІЧНИЙ ЦЕНТР», мають усі права на подальше використання свого твору за умови посилання на наше видання, в якому твір опублікований. Відповідно до умов Ліцензійного договору, Видавець ПП «ТЕХНОЛОГІЧНИЙ ЦЕНТР» не забирає ваші авторські права та отримує від авторів дозвіл на використання та розповсюдження публікації через світові наукові ресурси (власні електронні ресурси, наукометричні бази даних, репозитарії, бібліотеки тощо).
За відсутності підписаного Ліцензійного договору або за відсутністю вказаних в цьому договорі ідентифікаторів, що дають змогу ідентифікувати особу автора, редакція не має права працювати з рукописом.
Важливо пам’ятати, що існує і інший тип угоди між авторами та видавцями – коли авторські права передаються від авторів до видавця. В такому разі автори втрачають права власності на свій твір та не можуть його використовувати в будь-який спосіб.