Оцінювання складових невизначеності при калібруванні растрових електронних наноскопів

Автор(и)

  • Антон Сергійович Шантир Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут», пр. Перемоги, 37, м. Київ, Україна, 03056, Україна

DOI:

https://doi.org/10.15587/1729-4061.2013.9495

Ключові слова:

растровий електронний наноскоп, калібрування, невизначеність.

Анотація

В статті проведено аналіз основних складових невизначеності при калібруванні растрових електронних наноскопів в нанометровому діапазоні вимірювання та визначено шляхи підвищення точності калібрування, побудови альтернативних стандартних зразків з меншою невизначеність нормованих параметрів.

Біографія автора

Антон Сергійович Шантир, Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут», пр. Перемоги, 37, м. Київ, Україна, 03056

Аспірант

Кафедра автоматизації експериментальних досліджень

Посилання

  1. Groeseneken G. ESD solutions in sub-14 nm CMOS: from ESD device development to IO solutions [Електронний ресурс] / G. Groeseneken // Metrology & Characterization competence center. – 2012. – Режим доступу: http://www2.imec.be/be_en/education/phd/metrology-and-characterization/esd-solutions-in-sub-14-nm-cmos.html. – Назва з екрану.
  2. Андриевский Р. Линейная мера микрометрового и нанометрового диапазонов для растровой электронной и атомно-силовой микроскопии / Р. Андриевский // Наноиндустрия. – 2007. – №3 – С. 12–16.
  3. The International Technology Roadmap for Semiconductors [Електронний ресурс]. – 2012. – Режим доступу: http://www.itrs.net/. – Назва з екрану.
  4. Scanning Electron Microscope Laboratory [Електронний ресурс]. – 2011. – Режим доступу: http://www4.nau.edu/microanalysis/. – Назва з екрану.

##submission.downloads##

Опубліковано

2013-02-05

Як цитувати

Шантир, А. С. (2013). Оцінювання складових невизначеності при калібруванні растрових електронних наноскопів. Eastern-European Journal of Enterprise Technologies, 1(9(61), 16–20. https://doi.org/10.15587/1729-4061.2013.9495

Номер

Том 1 № 9(61) (2013): Інформаційно-керуючі системи

Розділ

Інформаційно-керуючі системи

Ліцензія

Авторське право (c) 2014 Антон Сергійович Шантир

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.

Закріплення та умови передачі авторських прав (ідентифікація авторства) здійснюється у Ліцензійному договорі. Зокрема, автори залишають за собою право на авторство свого рукопису та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons CC BY. При цьому вони мають право укладати самостійно додаткові угоди, що стосуються неексклюзивного поширення роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом, але за умови збереження посилання на першу публікацію статті в цьому журналі.

Ліцензійний договір – це документ, в якому автор гарантує, що володіє усіма авторськими правами на твір (рукопис, статтю, тощо).
Автори, підписуючи Ліцензійний договір з ПП «ТЕХНОЛОГІЧНИЙ ЦЕНТР», мають усі права на подальше використання свого твору за умови посилання на наше видання, в якому твір опублікований. Відповідно до умов Ліцензійного договору, Видавець ПП «ТЕХНОЛОГІЧНИЙ ЦЕНТР» не забирає ваші авторські права та отримує від авторів дозвіл на використання та розповсюдження публікації через світові наукові ресурси (власні електронні ресурси, наукометричні бази даних, репозитарії, бібліотеки тощо).
За відсутності підписаного Ліцензійного договору або за відсутністю вказаних в цьому договорі ідентифікаторів, що дають змогу ідентифікувати особу автора, редакція не має права працювати з рукописом.
Важливо пам’ятати, що існує і інший тип угоди між авторами та видавцями – коли авторські права передаються від авторів до видавця. В такому разі автори втрачають права власності на свій твір та не можуть його використовувати в будь-який спосіб.