Вплив поверхні об’єкта на вимірювання геометричних розмірів цифровою оптичною мікроскопією

Автор(и)

  • Ольга Миколаївна Маркіна Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут» пр. Перемоги 37, м. Київ, Україна, 03056, Україна https://orcid.org/0000-0002-4406-1644
  • Олена Ігорівна Сингаївська Інститут фізики напівпровідників ім. В. Є. Лашкарьова НАН України пр. Науки 41, м. Київ, Україна, 03028, Україна
  • Володимир Петрович Маслов Інститут фізики напівпровідників ім. В. Є. Лашкарьова НАН України пр. Науки 41, м. Київ, Україна, 03028, Україна
  • Наталія Володимирівна Качур Інститут фізики напівпровідників ім. В. Є. Лашкарьова НАН України пр. Науки 41, м. Київ, Україна, 03028, Україна https://orcid.org/0000-0001-6868-8452

DOI:

https://doi.org/10.15587/1729-4061.2014.31948

Ключові слова:

об’єкт-мікрометр, цифрова оптична мікроскопія, геометричні розміри

Анотація

Наведені результати експериментальних досліджень впливу субмікронного рельєфу мір на результати калібрування. Технологія виготовлення об’єкт-мікрометра відбитого світла металічного дзеркального покриття створює крайові навали матеріалу покриття. Зроблено висновок, що для зменшення невизначеності вимірювань, зумовлених точністю калібрування, перевагу слід надавати мірам із плоскою поверхнею та мірам на просвіт при роботі на великих збільшеннях. 

Біографії авторів

Ольга Миколаївна Маркіна, Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут» пр. Перемоги 37, м. Київ, Україна, 03056

Старший викладач

Кафедра наукових, аналітичних та екологічних приладів і систем

Олена Ігорівна Сингаївська, Інститут фізики напівпровідників ім. В. Є. Лашкарьова НАН України пр. Науки 41, м. Київ, Україна, 03028

Інженер

Відділ електроннозондових методів структурного і елементного аналізу напівпровідникових матеріалів і систем

Володимир Петрович Маслов, Інститут фізики напівпровідників ім. В. Є. Лашкарьова НАН України пр. Науки 41, м. Київ, Україна, 03028

Завідуючий відділом, старший науковий співробітник, доктор технічних наук

Відділ фізико-технологічних основ сенсорного матеріалознавства

Наталія Володимирівна Качур, Інститут фізики напівпровідників ім. В. Є. Лашкарьова НАН України пр. Науки 41, м. Київ, Україна, 03028

Молодший науковий співробітник

Відділ фізико-технологічних основ сенсорного матеріалознавства

Посилання

  1. Gorelik; S. L.; Kats; B. M.; Kivrin; V. I. (1980). Televizionnyie izmeritelnyie sistemyi. Svyaz; 168.
  2. Porev; V.; Markina; O.; Aginskyy; Y. (2013). Television information measurement systems for linear dimension measuring. Eastern-European Journal of Enterprise Technologies; 2 (10); 59–62. Available at: http://journals.uran.ua/eejet/article/view/12757/10630
  3. Markina; O. (2014). Sposib Markinoyi VimIryuvannya MIkroperemIschen. 22.10.2013; assignee. Patent 89021. 10 Apr. 2014. Print.
  4. Yakimets; S.; Tibin; S. (2010). Povyishenie tochnosti izmereniya diametra slitka kremniya televizonnyim metodom. Visnik KDPU Im. Mihayla Ostrogradskogo; 1 (60); 66–69.
  5. Lvov; V.; Andrieiev; A. (2010). Quasiinvariant Automatic Control Digital Systems of Inertia Objects. MaterIali MIzhnarodnoYi KonferentsIYi TCSET'2010. LvIv-Slavsko; UkraYina; 79.
  6. Vvedenskiy; S.; Zaharchenko; A.; Troitskiy; V. (2005). Izmernie submikronnyih razmerov. Opticheskiy mikroskop s nekogerentnyim osvescheniem. Elektronika: Nauka; Tehnologiya; Biznes; 1; 59–61.
  7. Gavrilenko; V.; Novikov; Y.; Rakov; A.; Todua; P. (2008). Test-ob'ektyi s pryamougolnyim i trapetsievidnyim profilyami relefa dlya rastrovoy elektronnoy i atomno-silovoy mikroskopii. Nanoindustriya; 4; 24–30.
  8. Heather; P.; Germer; T.; Cresswell; M.; Allen; R.; Dixson; R.; Bishop; M. (2007). Modeling and Analysis of Scatterometry Signatures for Optical Critical Dimension Reference Material Applications. Proceedings of the 2007 International Conference on Frontiers of Characterization and Metrology for Nanoelectronics. NIST in Gaithersburg; 392–396.
  9. Germer; T. (2007). Effect of line and trench profile variation on specular and diffuse reflectance from a periodic structure. Journal of the Optical Society of America A; 24; 696–701. doi: 10.1364/josaa.24.000696
  10. Lytvyn; P. (2014). Probe Microscopy in Practical Diagnostic: 3D Topography Imaging and Nanometrology. Functional Nanomaterials and Devices for Electronics; Sensors and Energy Harvesting. Switzerland: Springer International Publishing; 179–219. doi: 10.1007/978-3-319-08804-4_10

##submission.downloads##

Опубліковано

2014-12-19

Як цитувати

Маркіна, О. М., Сингаївська, О. І., Маслов, В. П., & Качур, Н. В. (2014). Вплив поверхні об’єкта на вимірювання геометричних розмірів цифровою оптичною мікроскопією. Eastern-European Journal of Enterprise Technologies, 6(5(72), 59–64. https://doi.org/10.15587/1729-4061.2014.31948

Номер

Том 6 № 5(72) (2014): Прикладна фізика

Розділ

Прикладна фізика

Ліцензія

Авторське право (c) 2014 Ольга Миколаївна Маркіна, Олена Ігорівна Сингаївська, Володимир Петрович Маслов, Наталія Володимирівна Качур

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.

Закріплення та умови передачі авторських прав (ідентифікація авторства) здійснюється у Ліцензійному договорі. Зокрема, автори залишають за собою право на авторство свого рукопису та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons CC BY. При цьому вони мають право укладати самостійно додаткові угоди, що стосуються неексклюзивного поширення роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом, але за умови збереження посилання на першу публікацію статті в цьому журналі.

Ліцензійний договір – це документ, в якому автор гарантує, що володіє усіма авторськими правами на твір (рукопис, статтю, тощо).
Автори, підписуючи Ліцензійний договір з ПП «ТЕХНОЛОГІЧНИЙ ЦЕНТР», мають усі права на подальше використання свого твору за умови посилання на наше видання, в якому твір опублікований. Відповідно до умов Ліцензійного договору, Видавець ПП «ТЕХНОЛОГІЧНИЙ ЦЕНТР» не забирає ваші авторські права та отримує від авторів дозвіл на використання та розповсюдження публікації через світові наукові ресурси (власні електронні ресурси, наукометричні бази даних, репозитарії, бібліотеки тощо).
За відсутності підписаного Ліцензійного договору або за відсутністю вказаних в цьому договорі ідентифікаторів, що дають змогу ідентифікувати особу автора, редакція не має права працювати з рукописом.
Важливо пам’ятати, що існує і інший тип угоди між авторами та видавцями – коли авторські права передаються від авторів до видавця. В такому разі автори втрачають права власності на свій твір та не можуть його використовувати в будь-який спосіб.